檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "銀".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="氧化銀"
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此實驗以反應式離子束濺鍍法成長氧化銀薄膜,採用毛細式離子源(6∼8 kV、100∼500 uA)及陽極層離子源 (0.7 kV、13.5 mA) ,同時通入氬氣及氧氣,氬氣為濺鍍氣體,氧氣為反應氣體…
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本實驗使用反應式離子束濺鍍法沉積氧化銀,藉由調變不同離子束能量、沉積溫度及氧氣分壓(Opf)來沉積氧化銀薄膜,之後再將鋁摻入薄膜觀察其變化。XRD分析在陽極電壓700 V下沉積,在Opf = 100…